探針臺是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測裝備之一，其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、 高速器件的精密電氣測量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。半導(dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類：驗(yàn)證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。除探針臺外，晶圓檢測環(huán)節(jié)還需要使用測試儀/機(jī)，測試儀/機(jī)用于檢測芯片功能和性能，探針臺實(shí)現(xiàn)被測芯片與測試機(jī)的連接，通過探針臺和測試機(jī)的配合使用，可以對晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測試或射頻測試，可以對芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。探針臺建設(shè)需要綜合考慮技術(shù)、人力、資金等眾多因素。吉林探針臺工作原理

手動探針臺的工作原理及應(yīng)用范圍。工作原理：手動探針臺是普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟(jì)型測試儀器，主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測。手動探針臺是通過兩根探針以及吸片盤夠成的回路以及相應(yīng)大型電參數(shù)測試儀對芯片中的集成電路進(jìn)行檢測的。應(yīng)用范圍：手動探針臺主要用于對生產(chǎn)及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數(shù)進(jìn)行手動測試。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時(shí)需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。北京小型探針臺參考價(jià)探針臺是人類理解宇宙和了解人類自身的一個(gè)重要工具。

平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)，平面電機(jī)由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺， 動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求如分辨力等，用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個(gè)線槽，線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距，而定子則按不同的細(xì)分控制方式，按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進(jìn)精度及設(shè)備使用壽命，損壞嚴(yán)重將造成設(shè)備無法使用而報(bào)廢。

探針測試臺x-y工作臺的分類，縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類，即:以美國EG公司為表示的平面電機(jī)型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對待。探針臺可以幫助科學(xué)家研究和觀測太陽系、銀河系乃至更遠(yuǎn)的星際空間。

手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的，這意味著晶圓載物臺、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優(yōu)點(diǎn)之一是只需要較少的培訓(xùn)，易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測試環(huán)境，并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時(shí)間的電子設(shè)備、PC或軟件。由于其靈活和可變性高的特點(diǎn)，非常適合研發(fā)人員使用。全自動探針臺相比上述兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元（MHU）和模式識別（自動對準(zhǔn)）。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試。可以24小時(shí)連續(xù)工作，通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動探針臺價(jià)格也是遠(yuǎn)比手動/半自動探針臺要昂貴。探針臺能夠捕捉到宇宙中不同能量和波長的輻射線，并運(yùn)用檔次高技術(shù)解析這些信息。真空溫控探針臺廠家現(xiàn)貨

探針臺的建設(shè)需要克服很多技術(shù)難題。吉林探針臺工作原理

半自動型，chuck尺寸800mm/600mm，X,Y電動移動行程200mm/150mm，chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡，針座擺放個(gè)數(shù)6～8顆，顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"，可搭配Probe card測試，適用領(lǐng)域：8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。電動型：chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不銹鋼或鍍金），X,Y電動移動行程300mm x 300mm，chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u，可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡，針座擺放個(gè)數(shù)8～12顆，顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“，材質(zhì)：花崗巖臺面+不銹鋼，可搭配Probe card測試，適用領(lǐng)域：12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。吉林探針臺工作原理

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